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四探針電阻率 方阻分析儀 靈敏度四探針電阻率 方阻檢測儀

  • 簡單描述
  • DL04-KDY-1型四探針電阻率/方阻測試儀(以下簡稱電阻率測試儀)是用來測量半導體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試架及四探針頭組成。
  • 產品型號:  DL04-KDY-1
  • 更新時間:  2024-11-19
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詳細介紹

四探針電阻率 方阻測試儀 靈敏度四探針電阻率 方阻檢測儀

型號:DL04-KDY-1                          

 產品介紹

DL04-KDY-1型四探針電阻率/方阻測試儀(以下簡稱電阻率測試儀)是用來測量半導體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試架及四探針頭組成。

本儀器的特點是主機配置雙數字表,在測量電阻率的同時,另一塊數字表(以萬分之幾的精度)適時監測全程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉換,更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源,使測量電流高度穩定。本機配有恒流源開關,在測量某些箔層材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生,更好地保護箔膜。儀器配置了本公司的產品:“小游移四探針頭”,探針游移率在0.10.2%。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本機如加配HQ-710E數據處理器,測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正,并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習庋。給測量帶來很大方便。

2、主機技術能數

1)測量范圍:

可測電阻率:0.000119000Ω•cm

可測方塊電阻:0.0011900Ω•□

2)恒流源:

輸出電流:DC 0.001100mA 五檔連續可調

量程:0.0010.01mA

0.010.10mA

0.101.0mA

1.010mA

10100mA

恒流精度:各檔均低于±0.05%

3)直流數字電壓表:

測量范圍:0199.99mV

靈敏度:10μV

基本誤差:±(0.004%讀數+0.01%滿度)

輸出電源:≥1000ΩM

4)供電電源:

AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W

5)使用環境:

溫度:23±2 相對濕度:≤65%

無較強的電場干擾,無強光直接照射

6)重量、體積:

主機重量:7.5kg

體積:365×380×160(單位:mm 長度×寬度×高度)

備注:

等級測量時(測電阻率),精度<3%

電氣測量時(測電阻),精度在0.3%以內

10μV)

 

北京北信科儀分析儀器有限公司

地址:北京市昌平區西三旗龍旗廣場2號樓

:李

 

http://www.bxequ.com


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