在線露點儀 半導(dǎo)體行業(yè)在線露點儀 高穩(wěn)定性能在線露點儀
型號: JC06-Michell
簡單介紹 (變送器+國產(chǎn)二此表) 于半導(dǎo)體行業(yè) Michell
●安裝簡便
●高度的穩(wěn)定性和重復(fù)性
●測量范圍zui低達-120OC露點,相當于<1ppbV
●*精確度為±1℃露點
●4~20mA及RS 485輸出
●半導(dǎo)體工業(yè)表面處理和清潔 英國密析爾儀表有限公司(Michell)生產(chǎn),專業(yè)的露點變送器生產(chǎn)廠商。
技術(shù)參數(shù):
傳感器
類型:密析爾Ceramic 陶瓷濕度變送器
測量范圍:-120~-40℃ 露點 (標定-100~-40℃)
精確度:-40~-60℃ 范圍為±1℃;-61~-100℃ 范圍為±2℃; -101~-120 范圍為±4℃(估)
分辨率:-40~-79.9℃ 范圍為01℃;-80~-100℃ 范圍為1℃;-100~-120 范圍為1~3℃
額定壓力:zui低為10-9torr;zui高為24MPa
氣流率:1~5 Nlmin-1
電子電路
電源:額定24VDC,10V min., 28V max ,25 mA max
輸出:4~20mA可調(diào),使用提供的界面軟件調(diào),調(diào)節(jié)范圍1~80℃zui大負載=1k ? (28VDC 時),zui小負載=200?(10VDC 時)(50?/v)
出錯狀態(tài)顯示:標準的出錯誤狀況:23mA=變送器故障;20mA=超越測量
范圍;4mA=小于測量范圍。這些設(shè)置能通過提供的軟件界面進行調(diào)節(jié)
機械結(jié)構(gòu)
探頭:冷拉不銹鋼,內(nèi)部0.1-0.2µm Ra鐳電鍍拋光
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